仪器参数
- 测量范围:1nm~4000nm;
- 测量最小值:≤1nm;
- 镀膜折射率范围:1.3 ~ 2.49
- 入射角:40°~90° 误差≤0.05°;
- 偏振器方位角范围:0°~180°;
- 偏振器步进角:0.0375°/步;
- 仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm;
- 光学中心高度:75㎜;
- 允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
- 外形尺寸:730 x230X 290;
- 主机重量:30kg;
插图片
仪器简介
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看左图。
1、 光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。
2、 接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。
3、 主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。
4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。 |