易祥科教仪器

SDY-4型四探针测试仪(配DJ-1型电动测试台)

产品介绍：

      SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.
       仪器以大规模集成电路为核心部件,应用模拟和数字控制技术,配备微型电动升降测试台:采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。
       本仪器适用于测量半导体晶片电阻率，以及扩散层材料、离子注入层、异型外延层的方块电阻。也可测量在玻璃等绝缘材料上形成的器件的导电薄膜方块电阻。

技术指标
1  测量范围: 电阻率:0.001-200Ω.cm(可扩展);
              方块电阻:0.01-2000Ω/口(可扩展);
2  可测晶片直径(最大):100mm/150mm;
3   恒流源:电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调.误差
<+/-0.3%>4  数字电压表:
   量程:0-199.99mV;       分辨率:10μV
   显示:四位半红色发光管数字显示;极性、小数点、超量程自动显示。
   输入阻抗>1000MΩ;       精度:+/-0.1%.
5  最大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%+/-1字.
6  四探针探头:
   间距:1+/-0.01mm;针间绝缘电阻≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
   探针压力:TZT-9C/9D  5-8 牛顿(总力)
7  整机不确定度:(用硅标样片测试)≤5%  (0.01-180Ω.cm)
8  外形尺寸:电气主机:360mm×320mm×100mm；测试台：260mm×154mm×250mm
9  数据处理器：300mm×210mm×105mm
10   仪器重量：电气主机：约4kg；测试台：约10kg
11   测试环境：温度23+/-2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。

产品特点：
测试数据自动保持(当该功能选择有效时);
无样品数据自动显示为零(当该功能选择有效时);
无外负载式电流调整;
恒流源电路正常自动显扎示;
电动测试台多种操作方法选择.

品名	规格	包装	备注
SDY－4型四探针测试仪	.	1套	SDY－4型四探针测试仪主机、DJ－1型电动测试台、装配9D探头
TZT-9D型四探针探头	探针间距1mm针距，针尖材料:碳化钨锇合金;针尖曲率半径:40+/-5μm;探针压力:5至8牛顿(总压力，此范围内可调);探针机械游移率:小于0.3%;探针伸出长度2+0.5mm;针尖锥体夹角60度;针间绝缘电阻:大于1000000000Ω	1只	TZT-9D型四探针探头采用环氧精浇注(带红宝石轴套),以保证精确的针距.同时适用复合材料作探针,从而提高探针头的使用寿命.它具有绝缘性能好、测试数据可靠，使用寿命长等特点。它的所有技术指标符合国家标准，同时符合美国ASTM标准的有关规定。用于测薄片